分體插入式熱式氣體質量流量計的測量原理：熱式流量計中有兩個溫度傳感器被置于介質中時，其中一個傳感器被加熱到環境溫度以上的的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。

法蘭管段式熱式氣體質量流量計測量無需度和壓力補償，可直接顯示標況體積流量；具有測量介質溫度的功能；熱式流量計目前絕大部分用于測量氣體，只有少量熱式流量計用于測量微小液體流量。

小型熱式氣體質量流量計測量介質：單組份或組分穩定的混合干氣體（乙炔、氫氣除外）介質流速：常規：0.56~56Nm/s，最大流速可擴展至100Nm/s